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台式扫描电镜的8大特点

发布时间: 2021-12-16  点击次数: 197次
   台式扫描电镜早在1935年便已经被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的 努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。现在扫描电镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
  扫描电镜的特点:
  (1)能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
  (2) 样品的制备过程简单,不用切成薄片。
  (3) 样品可以在样品室中作三维空间的平移和旋转,因此可以从各种角度对样品进行观察。
  (4) 景深大,图像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。
  (5) 图像的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。
  (6) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。
  (7) 能够进行动态观察(如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等)。
  (8) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号做微区成分及晶体学分析。
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