原子力扫描电镜一体机的使用,需兼顾两类设备的操作特性,全程做好样品、探针、环境与系统的规范管控,保障设备运行稳定,同时获得高质量的观测与扫描结果。
开机前需先完成环境与前置状态检查,确认设备放置区域无剧烈震动、无强电磁干扰,温湿度处于设备适配的合理区间,避免环境因素对成像精度造成干扰。检查设备的供气、供电、冷却等配套辅助系统状态正常,所有外接管路、线路连接牢固无松动,确认设备的接地装置连接完好,避免静电积累损伤核心光学与传感部件。
样品制备与装载环节需严格遵循规范,待测样品需提前做必要的前处理,确保表面清洁、无松散易脱落的碎屑,导电类样品做好适配的导电处理,非导电样品选择对应的观测模式,避免观测过程中出现荷电、样品漂移等问题。装载样品时轻拿轻放,将样品平稳固定在样品台上,确认样品高度不会触碰探针与镜筒部件,装载完成后缓慢将样品台送入观测腔室,全程避免磕碰核心部件。
探针的选择与安装需匹配实验需求,根据样品的表面硬度、预期扫描分辨率、测试模式挑选适配的探针,安装过程中佩戴洁净手套,避免手指直接触碰探针悬臂与针尖部位,防止油污、指纹污染针尖。安装完成后确认探针固定牢固,无松动偏移,再启动后续的对焦、寻样流程,避免探针安装不到位导致扫描过程中撞针。
设备运行过程中安排专人值守,先通过低倍光学或电镜模式快速定位目标观测区域,确认样品位置、焦距状态正常后,再逐步调整原子力扫描的参数,从低分辨率预览模式开始逐步优化扫描参数,不要直接设置过高的扫描速率或过大的扫描范围,避免针尖与样品表面发生硬接触造成针尖损伤或样品刮花。运行过程中留意设备的反馈信号,若出现异常震动、图像剧烈漂移等情况,及时暂停扫描排查问题,不要强行继续运行。
实验结束后,先将探针抬升至安全距离,退出扫描模式,再将样品台移出腔室,小心取下探针与样品,做好收纳存放。随后按规范顺序关闭设备的核心功能单元,最后关闭总电源与配套辅助系统,清理设备周边的实验台面,做好本次操作的运行记录,为后续设备维护与同类实验开展提供参考依据。