台式扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。
为什么台式扫描电镜检测物品成像无颜色
扫描电镜是用电子打在样品上,用电子束成像。这主要是因为电子的波长小,光的波长在400到700纳米量级,而电子的波长公式是 lambda=h/(mv),一般用的电压是80kV 到 300kV,电子的波长就是在0.01纳米左右,和原子的大小接近。更短波长的好处,是可以观测到更小尺寸的东西,否则会因为波的衍射和干涉无法分辨。通常看到的生物样品,和高倍昆虫图片,是用扫描电镜拍到的,实际上这是电子显微镜中放大倍数低的,纯科普的。这些其实还可以用光学显微镜看。我们说的「颜色」是可见光的颜色,对于电子来说,它不是光,因此没有颜色一说。因此样品成像无颜色。
扫描电子显微镜目前*泛的用途是看电子元件,像CPU现在都是25纳米制程,这些的检查都是用高分辨率的扫描电镜。还有一些生物样品,比如骨头断面组织之类也会用到扫描电镜。还有纳米线的形貌像(外观)。
扫描电镜采用二次电子和背散射电子两种探测器。同时配备4个可选光阑(30、50、100、200um),通过改变电子束大小可提供高分辨率图像。
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