飞纳桌面电镜 台式大仓室自动化扫描电镜

Phenom XL G3  质量控制自动化，多功能台式扫描电镜

80 年电镜技术传承

从飞利浦、FEI到赛默飞，源自全球电镜的成熟设计与制造工 艺，稳定可靠

无需改实验室 - 省钱省空间

不挑安装环境，内置减震系统，可直接放置于生产车间、高楼层 QC实验室等

面向工业 4.0 的自动化与 AI 智能扫描电镜

开放编程接口，打造定制化的“黑灯实验室"检测流程，支持 Maps 地 图式多模态、多维度自动拼图及关联

平均 5 年更换灯丝

3000h CeB6  晶体灯丝，减少维护频率和降低使用成本，让产线 或实验室长期稳定运行无忧

低电压成像功能

对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，不喷金，仍具有成像能力

电镜能谱一体化设计 - 服务全包，省心省力

简化采购流程，统一售后服务。软件和硬件深度兼容，无需切换软件。 ChemiSEM彩色成像,实时能能谱面扫、相分析、大面积能谱拼图等 

80 年电镜技术传承

飞纳电镜从飞利浦到赛默飞，历经近 80 年技术沉淀，从最初的构想与商业化，到不断的技术创新与突破，始终在电子显微镜领域保 持领(LING）先地位。

 1      飞利浦时期（1939-1996）

•    起源：1939  年，Le  Poole  提出电子显微镜构想，1944  年成功开发  150kV 电子显微镜，奠定技术基础。

•    发展：1949   年推出第一台商业化电镜   EM100。后续不断推出创新产品，如 1972 年进入 SEM 市场，推出 PSEM500。 

 2     FEI 时期（1996-2016）   

•  合并：1997年，飞利浦电子光学业务与FEI合并，获得 ESEM 技术，技术实力增强。 

•  创新：2006年推出台式扫描电镜飞纳（Phenom），放大倍数  10000  倍，使用  1500h  长寿命  CeB6    灯丝。

2013 年推出第三代产品，分辨率 17nm，放大倍数 100000 倍。 

 3    赛默飞时期（2016-至今） 

•  收购：2016 年，FEI 被赛默飞收购，2018 年 Phenom World 更名为 Thermo Scientific 品牌。

•   传承与发展：技术上继承 FEI 创新成果，继续提升性能，目前除了 CeB6 灯丝系列，还有台式场发射电镜系列，公安法医等 特定领域专用电镜，产品线丰富，型号达数十种。

 平均 5 年更换灯丝

桌面电镜 台式大仓室自动化扫描电镜拥有超长寿命核心部件，采用 3000 小时高亮度六硼化铈（CeB6）灯丝，平均 5 年更换灯丝，确保设备 7×24 小时连续运行，减 少维护频率和持有成本，让产线或实验室长期稳定运行无忧。

不挑安装环境，内置减震系统，可直接放置于生产车间、高楼层  QC  实验室等，甚至可以车载，野外场景使用。节省实验室改造 费用，真正做到“买得起，更能用得好"。

飞纳电镜曾经参与冰岛火山口、西班牙无人岛等科学研究项目，是适用于恶劣环境的便携扫描电镜。科研人员采集样本回到帐篷 中，利用飞纳电镜来确定样本的化学构成，极大地提高了样本采集和分析的效率。

低电压成像功能 

PhenomXL G3 配备了全新升级真空设计和背散射探测器 (BSD)，优化了低电压下的灵敏度，提升了总体的信噪比 (S/N)，对于不 导电、导电性差、以及电子束敏感样品，可以使用更低的束流进行拍摄，提升分辨率的同时，降低荷电效应带来的影响。

由于整体信噪比的提升，我们可以使用更短的采集时间采集同样质量的照片，在自动化工作流程中，高通量照片拍摄的总效率平均提升 30%。

太阳能电池金字塔结构

 放大倍数：10,000X

 2kV，未喷金，二次电子像

 可以清晰看到金字塔结构和细节

电子陶瓷

 放大倍数：1,000X

 5kV，背散射电子像

 可以观测到陶瓷内晶粒大小和空隙 

CMOS 探测器

 放大倍数：5,000X

 2kV，二次电子像

 可以清晰看到像素单元及其表面污染物

扫描电镜下未喷金的纤维（上图），未喷金的纸张（下图）

面向工业 4.0 的自动化与 AI 智能扫描电镜

从装样到出图，仅需 1 分钟，高测试效率，操作员无需漫长等待，检测通量比传统电镜提升 5-10 倍，极大加速了 QC 判断和研发迭代。

  强大的拓展软件

从“看"到“算"：专业的自动化分析软件，ParticleMetric   (颗粒统计)、Fiber- Metric (纤维统计) 等专用软件。自动化完成需要人工数小时才能完成的颗粒 度、形貌、尺寸分布等统计工作，输出标准化报告，实现真正的量化品控。

  开放编程接口，打造定制化检测流程

“深度集成，随需而变"：开放的自动化接口，提供 Python 脚本控制 (PPI)，可以无 缝集成到客户现有的自动化产线和 LIMS 系统中。精准的自动化马达台，结合软件 脚本，一次可容纳 36 个样品，打造“无人值守的质检工厂"，自定义设定程序，在夜 间或休息时间对大批量样品进行自动拍照和分析，提高设备利用率。

  一 张图看全貌，多点分析无遗漏

在晶圆、滤膜、金属断口等大样品上，自动获取全景高清图，并对预设的关键点位进行高倍率分析，确保检测。

电镜能谱一体化设计 - 服务全包，省心省力

简化采购流程，统 一 售后服务。软件和硬件深度兼容，无需切换软件，提高研究效率。ChemiSEM彩色成像,实时能能谱面扫、相分 析、大面积能谱拼图等

ChemiSEM 彩色成像技术

EDS   能谱仪在电镜工作时始终在后台收集成分数据，利用算法同时处理   BSE   和  EDS 信号，从而可以实时显示样品的形态和定量元素分布结果。简化对金属、陶瓷、 电池、涂层和软材料等多种材料的复杂分析。

  ChemiPhase 物相分析软件

飞纳电镜 ChemiPhase 物相分析软件是 ChemiSEM 技术中一种新型物相鉴定和定 量表征手段，旨在通过结合先进的统计分析和 ChemiSEM SEM-EDS 平台来识别物相，并识别成分列出其面积分数，从而应对这些挑战。

  Phenom MAPS 大面积图像拼接

通过层级的方式，实现对样品的拍摄与数据回看。Phenom MAPS 提供的是一个涵 盖所有样品信息的数码存档，从宏观到微观无所不包，变革了传统扫描电镜的 分析与数据存储模式。并且，多图层数据可以包含能谱。 

  从元素到材料的飞跃：相分布图 (Phase Mapping)

专有的在线相分析软件模块 (Phase Mapping) ，利用强大的算法，根据每个像素点的元素定量结果，自动识别、分类并标定出不同的 “相"或“化合物"。

规格参数

成像模式

• 光学显微镜：放大倍数：3 - 16 x

•  电子显微镜：放大倍数：200,000 x

照明

• 光学：明场和暗场模式

•  电子光学：长寿命、高亮度的 CeB6 灯丝

• 加速电压： 基本模式：2 kV, 5 kV, 10 kV, 15kV 和 20kV

高级模式：4.8  kV - 20.5  kV 连续可调，用 于成像和元素分析

• 真空水平：低-中-高三种模式 优于 8 nm

• 分辨率： 优于 8 nm

• 抽真空时间：30s